本實用新型公開一種等離子體增強化學氣相沉積設備,包括:真空腔體(10),設置有多個加熱元件;加熱臺(20),設置在真空腔體的內部;勻氣裝置(30),設置在真空腔體的內部,并位于加熱臺的上方,且朝向加熱臺出氣;以及進氣裝置(40),設置在真空腔體的外部,并與勻氣裝置相通,所述等離子體增強化學氣相沉積設備還包括:通孔(11),設置所述真空腔體(10)的位置高于所述加熱臺(20)的腔壁上,并且通過透明密封件(50)而與真空腔體實現密封連接,以及紅外熱像儀(60),其設置在真空腔體的外側,并經由透明密封件對加熱臺的溫度進行探測。本實用新型的等離子體增強化學氣相沉積設備的操作簡單,且測量范圍比較廣,測量結果更加準確。
聲明:
“等離子體增強化學氣相沉積設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)