本實用新型提供一種化學機械研磨機臺,包括研磨臺、研磨墊、研磨液輸送裝置、研磨頭裝置以及研磨頭清洗及晶圓裝卸單元,所述研磨頭裝置設置有紅外發射器,所述研磨頭清洗及晶圓裝卸單元設有與紅外發射器相對應的所述校準測試用標記,當紅外發射器發射的紅外光線照射到校準測試用標記上時,研磨頭裝置與研磨頭清洗及晶圓裝卸單元對準。通過紅外發射器和校準測試用標記點對點的位置校準,非常直觀、簡便的去校準研磨頭裝置至研磨頭清洗及晶圓裝卸單元的位置,可以最大程度的保證研磨頭裝置至研磨頭清洗及晶圓裝卸單元的位置不存在偏差,大大提升了化學機械研磨機臺的裝機與修機效率,從而保證化學機械研磨機臺的正常工作以及產品質量。
聲明:
“化學機械研磨機臺” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)