本發明公開一種自動化加工機臺組,包含:多個加工機臺;執行部件,包括支架及取用器,支架相鄰加工機臺,且取用器可移動地設置于支架上;視覺定位傳感器,用以感測并定位至少一化學藥品原料桶的開口的位置;至少一連接蓋,借由取用器可拆卸地連接于至少一化學藥品原料桶的開口;以及至少一連接管體,連接至少一連接蓋與各加工機臺中的供應槽。借此,本發明的自動化加工機臺組與應用其的晶圓化學藥品自動傳輸系統不需要借由人力,便可將已經使用完畢的化學藥品原料桶與裝滿化學藥品原料的化學藥品原料桶進行替換,因而能有效節省人力。
聲明:
“自動化加工機臺組與應用其的晶圓化學藥品自動傳輸系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)