本實用新型涉及一種電化學沉積槽藥量控制裝置,它包括:藥液濃度分析儀,藥液濃度分析儀與槽體相連接,且從槽體接收藥液進行濃度分析;藥水供應組件,藥水供應組件包括用于檢測藥液量的稱重傳感器,還包括氣動隔膜泵以輸送藥水;藥水添加組件,藥水添加組件連接在藥水供應組件和槽體之間,藥水添加組件包括加液桶和連接在加液桶上的進液管路和出液管路,進液管路連接氣動隔膜泵,出液管路連接槽體。由于設置有藥液濃度分析儀,從而可以實時從槽體中取出藥液進行濃度分析,當藥液濃度不夠時通過藥水供應組件和藥水添加組件向槽體中加入藥液,且藥水供應組件中的稱重傳感器可以控制加藥量。使得藥液濃度控制更為實時。
聲明:
“電化學沉積槽藥量控制裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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