本發明涉及一種高精度氧碘化學激光遠場光束質量測量裝置,包括衰減分光鏡、近場光強分布測量裝置、聚焦透鏡、分束器、兩個光斑測量裝置及數據處理單元;激光束的光路上設有分光器,分光器的一個輸出光路上設有近場光強分布測量裝置,另一輸出光路上依次設有聚焦透鏡和分束器,分束器的兩個輸出光路上分別設有光斑測量裝置,所述光斑測量裝置與近場光強分布測量裝置均與數據處理單元連接。其方法為:控制兩個導軌位于設定位置;數據處理單元根據光斑圖像和近場光腔分布測量裝置采集的強光光束的近場強度分布數據得到光束的遠場光束質量數據。本發明由于采及圖形遠離焦點,減小了CCD動態范圍引入的測量誤差,同時也降低了對成像系統的焦距要求。
聲明:
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