一種用于改良電化學電容電壓(EVC)造形測量準確度的裝置與方法,其方式是警示操作者蝕刻過程中產生表面薄膜或氣泡,使用該就地監控裝置在測量循環結束時測定實際測量區域,并使用新值重新計算該數據。通過使區域測量與EVC工具形成整體,可針對該實際測量區域修正每個樣品的測量,從而可改良準確度并消除一大的錯誤源。
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“用于改良電化學電容電壓測量準確度及可重復性的監控裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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