用以減少在例如CVD反應器之類的容器中的輻射測溫偏離誤差的設備。在一實施例中,輻射測溫計利用焦外遠心透鏡裝置。焦外遠心透鏡裝置聚焦于無限遠處,但卻被用于捕獲來自于焦點外之相對接近之目標物(例如在數米內)之輻射。捕獲來自目標物之準直的輻射減少了雜散輻射之貢獻。在另一實施例中,源自于周圍加熱組件之指定部分之散射輻射,可藉由若干機制中的一個而局部地減少,包含減少指定部分之發射(例如操作溫度)、或者捕獲源自于該指定部分之輻射之一部分或使其偏斜。固定于接近由晶圓載具之中心延伸之軸線并橫跨該指定部分的輻射測溫計承受較少的雜散輻射,藉此可提供更可靠之溫度讀數。
聲明:
“化學氣相沉積反應器中輻射測量偏離誤差的縮減” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)