本發明提供化學溶液的顆粒監測裝置,包括:化學溶液供給裝置,用于收容化學溶液,根據控制部的作業開始信號供給上述化學溶液;第一供給流路,與上述化學溶液供給裝置相連接,用于供給上述化學溶液;過濾器,與上述第一供給流路相連接,用于凈化上述化學溶液;分支流路及主流路,從上述過濾器分支而出;排液閥,與上述分支流路相連接,用于開閉上述分支流路;顆粒監測器,與上述主流路相連接,用于監測上述化學溶液的顆粒量;以及分配器部,從上述顆粒監測器接收上述化學溶液,來向作業對象物供給上述化學溶液,上述顆粒監測器與分配器部通過第二供給流路相連接,在上述第二供給流路設置控制閥,上述控制閥用于對從上述顆粒監測器供給到分配器部的上述化學溶液的供給進行控制。
聲明:
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