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2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
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第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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冶金行業
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第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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2025全國碳納米材料制備與應用技術交流會
第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會

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2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
第二屆有色金屬工業環境保護與減污降碳技術大會
2025工業廢水處理與資源化利用交流會
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檢測行業
物理檢測       化學分析       力學檢測       無損檢測       失效分析       環境檢測
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
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?蘇州英飛思科學儀器有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-30
?創想儀器 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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2025鉛鋅產業市場研討會
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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
有機助磨劑強化低品位菱鎂礦分選行為及機理研究
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漿態床加氫設備外排油渣中鉬和釩的回收工藝研究
二次鋁灰機械活化堿浸除氮氟及制備冰晶石研究
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推動行業革命的新型碳纖維復合材料泵
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
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高熵能源材料
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生物炭阻控稀土礦區重金屬污染效應及機制研究
基于催化界面工程的新污染物高效捕集與轉化技術
廢酸資源化處置利用概述
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鋰電材料金屬及磁性異物分析與過程控制
碳酸鋰質檢及倉單生成流程
譜育科技在有色行業元素分析檢測中的系列產品及應用

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2025年電解鋁行業形勢分析
陰極糊和電解槽壽命的關系淺述，及綠色糊的展望
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> 具有改進的終點檢測能力、用來對二氧化硅和氮化硅進行化學機械拋光的組合物

具有改進的終點檢測能力、用來對二氧化硅和氮化硅進行化學機械拋光的組合物

1004 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 06:45:15

本發明提供了一種用來對半導體基板上的二氧化硅和氮化硅進行拋光的組合物的制備方法。該方法包括:對羧酸聚合物進行離子交換以減少氨;將0.01-5重量%離子交換的羧酸聚合物與以下組分混合起來:0.001-1重量%的季銨化合物、0.001-1重量%的鄰苯二甲酸及其鹽、0.01-5重量%的磨料和余量的水。

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聲明：

“具有改進的終點檢測能力、用來對二氧化硅和氮化硅進行化學機械拋光的組合物” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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化學分析

上一個：用于酶促化學發光檢測的納米酶及其用途

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:140

2 取、制樣安全淺析

下載:132

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:97

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:96

7 用于X熒光分析的樣品前處理及其

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