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改進的具有精確邊界點檢測的化學機械拋光系統

982 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 06:45:15

一種用于拋光一工件的裝置,該裝置包括一個工件夾具(104),其被構造成能夠夾持該工件的結構形式;一個拋光元件(102),其被構造成能夠設置在工件的一表面附近以便通過該拋光元件的一正面拋光所述表面的結構形式;以及一個具有多個壓力區(Z1-Z4)的壓板(600),該壓板被構造成能夠選擇性地向所述拋光元件施加壓力從而使拋光元件在選擇的壓力作用下接觸該工件的表面的結構形式。在本發明的另一個實施例中,該裝置還包括一個連接到該壓板上的壓力控制器(564),該壓力控制器被構造成能夠選擇性地調節壓力區(Z1-Z4)的結構形式。

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“改進的具有精確邊界點檢測的化學機械拋光系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)