本發明提供一種處理氯硅烷渣漿殘液回收四氯化硅、硅粉、銅或/和制備硅酸酯的方法:通過固液分離步驟Ⅰ將氯硅烷渣漿殘液分離后,液相直接去四氯化硅儲罐或進入四氯化硅提純步驟Ⅲ,固相則通過反應步驟Ⅱ使其中殘留的氯硅烷發生反應生成硅酸酯和氯化氫,而其它氯化物則溶解于有機溶劑中;反應液液相通過步驟Ⅳ蒸餾回收硅酸酯,回收的含羥基溶劑和穩定劑則返回步驟Ⅱ重復使用,釜底液去水解中和步驟Ⅴ;加入堿液,使金屬氯化物反應生成氫氧化物沉淀,中和反應液相直接去三廢處理步驟Ⅶ,氫氧化物沉淀通過步驟Ⅵ進行銅的提取,再通過步驟Ⅷ進一步處理后得到金屬銅;步驟Ⅱ得到的固體為含銅硅粉,通過步驟Ⅵ和步驟Ⅷ處理后得回收硅粉和銅。
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