本發明公開一種多晶硅生產系統中的排殘裝置,包括:排殘管路,包括主管路,主管路上設有廢液入口和廢液出口。排殘管路的主管路上設置有排殘加壓泵、換熱器以及過濾單元,排殘加壓泵用于將廢液從廢液入口吸入排殘管路,換熱器位于排殘加壓泵的下游。過濾單元包括第一過濾器和第二過濾器,第一過濾器位于廢液入口和排殘加壓泵之間,第二過濾器位于換熱器與廢液出口之間。主管路的一段為U型管道,U型管道設置于換熱器與廢液出口之間,U型管道的入口和出口處于第一水平面,U型管道的底部處于第二水平面,第一水平面高于第二水平面,第二過濾器設置于U型管道的底部。本排殘裝置能夠有效地過濾廢液中的固體雜質,以避免排殘管路堵塞。
聲明:
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