本發明涉及一種多晶硅制絨刻蝕廢液的處理方法,它包括以下步驟:(a)在攪拌條件下,向廢液中加入堿金屬化合物反應至不再產生沉淀,過濾得第一沉淀和第一濾液;(b)在攪拌條件下,向所述第一濾液中加入堿土金屬化合物反應至不再產生沉淀,過濾得第二沉淀和第二濾液;(c)對所述第二濾液進行濃縮結晶得硝酸鹽固體。本發明多晶硅制絨刻蝕廢液的處理方法,通過向廢液中加入堿金屬化合物反應至不再產生沉淀,過濾后向濾液中加入堿土金屬化合物再過濾,最后濃縮,這樣能夠將廢液中的氟硅酸根離子、氟離子除去,并得到氟硅酸鹽、氟化鹽及硝酸鹽固體,既能夠保護環境,又能夠產生新的經濟效益。
聲明:
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