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            > 硅片切削廢液中碳化硅和硅的回收方法

            硅片切削廢液中碳化硅和硅的回收方法

            1366   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 04:30:00
            本發明公開了一種硅片切削廢液中碳化硅和硅的回收方法,包括如下步驟:取硅片切削廢液過濾,酸洗濾餅得到廢料;將廢料加入水中,升溫,攪拌保溫,加浮選溶液,攪拌,靜置,取上層溶液純化干燥得到碳化硅;取下層固體純化干燥得到硅;其中,浮選溶液的原料包括:煤油、十二烷基胺醋酸鹽、十八烯酸鈉、松節油透醇、仲辛醇、磷酸乙二胺、磷酸丙二胺、羧甲基纖維素鈉、乙二酸、質量分數為30?36wt%鹽酸水溶液、水。本發明操作簡單,能耗低,回收得到的碳化硅和硅的純度高。
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            “硅片切削廢液中碳化硅和硅的回收方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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