<p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

<var id="xhh1v"></var>
<output id="xhh1v"></output>

        <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
          <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

          <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>

            合肥金星智控科技股份有限公司
            宣傳

            位置:中冶有色 >

            有色技術頻道 >

            > 固/危廢處置技術

            > 燃燒水洗式半導體廢氣處理裝置

            燃燒水洗式半導體廢氣處理裝置

            905   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 04:29:58
            本發明公開了一種燃燒水洗式半導體廢氣處理裝置,包括:燃燒冷卻單元、儲液槽及填料洗滌塔;所述燃燒冷卻單元用于處理廢氣,使得廢氣高溫氧化分解產生酸性氣體和中性氣體;所述儲液槽用于吸收部分酸性氣體,并排出廢氣中的固體顆粒;所述填料洗滌塔用于吸收剩余的酸性氣體,并排出中性氣體;本發明利用甲烷及空氣燃燒產生的高溫燃燒使廢氣在高溫條件下氧化分解,產生的水溶性高溫酸性氣體通過冷卻塔冷卻后,部分酸性氣體進入到儲液槽進行堿洗中和吸收,同時使廢氣中夾雜的固體顆粒在儲液槽中沉降;剩余的酸性氣體進入填料洗滌塔吸收完全,最終使CVD設備產生的廢氣去除率達到95%以上,基本滿足排放到工廠排氣管道的要求。
            登錄解鎖全文
            聲明:
            “燃燒水洗式半導體廢氣處理裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
            我是此專利(論文)的發明人(作者)
            分享 0
                     
            舉報 0
            收藏 0
            反對 0
            點贊 0
            標簽:
            固廢
            全國熱門有色金屬技術推薦
            展開更多 +

             

            中冶有色技術平臺

            最新更新技術

            報名參會
            更多+

            報告下載

            赤泥綜合利用研究報告2025
            推廣

            熱門技術
            更多+

            衡水宏運壓濾機有限公司
            宣傳
            環磨科技控股(集團)有限公司
            宣傳

            發布

            在線客服

            公眾號

            電話

            頂部
            咨詢電話:
            010-88793500-807
            專利人/作者信息登記
            久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码

            <p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

            <var id="xhh1v"></var>
            <output id="xhh1v"></output>

                  <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
                    <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

                    <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>