本發明公開了一種金剛線切割硅片預處理設備,包括腔體、一組或多組等離子發生器、傳送系統以及廢氣排放系統;所述的等離子發生器安裝在上腔體的上端面上并與腔體連通,所述的廢氣排放系統與腔體下端面相連并與腔體連通;所述傳送系統穿過腔體左右兩側的開口并向兩側延伸;通過射頻電源激發銅線圈,產生電磁震蕩,刻蝕氣體通過氣管通入石英反應腔,混合后被射頻電源激發為等離子體,當硅片從下方經過時對硅片表面進行刻蝕,在硅片表面留下均勻細小的缺陷,這些缺陷在制絨槽內背繼續腐蝕放大為絨面結構,使得后期制絨效果好,可以減少或者替代制絨添加劑,降低制絨成本和廢水處理成本,提高電池片轉換效率。
聲明:
“金剛線切割硅片預處理設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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