本發明公開了一種電子級超純水處理系統及工藝,包括反滲透系統、深度處理系統和末端超濾系統;反滲透系統包括通過管路依次連接的一級RO水箱、RO高壓泵、RO裝置和堿封RO水箱,其中一級RO水箱與軟化水不合格水箱連接,軟化水合格水箱直接與堿封RO水箱連接;深度處理系統通過管路連接在堿封RO水箱的后端,深度處理系統包括通過管路依次連接的EDI進水泵、EDI裝置、氮封水箱、脫氣系統、終端拋光混床和終端供水泵。本發明采用上述結構的一種電子級超純水處理系統及工藝,去除水中的不純物,滿足純水水質的要求,整個純水處理流程中能夠連續供水,減少酸堿等廢水的產生,降低能耗,減少了化學藥品的使用量。
聲明:
“電子級超純水處理系統及工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)