本實用新型公開了一種硅片清洗設備的抽風通道,包括設置在設備箱體內部上方的抽風道,和穿透設備箱體上壁與抽風道連通的抽風口法蘭;在抽風道側壁上設有多個抽風孔及分別與抽風孔配合的風量調節板。本實用新型在抽風口法蘭連接相應抽氣設備后,抽風裝置通過清洗槽面上方的抽風孔把操作區域的廢氣經抽風道及時抽走,補充新鮮空氣進入設備內部;抽風道后部開有風道清理窗口,能滿足人工清理整個抽風道內的結晶或粉塵的要求;另外,抽風通道內設有噴淋管,可自動定時清洗抽風道,廢水由排放管道進入用戶廢水處理系統。
聲明:
“硅片清洗設備的抽風通道” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)