本發明公開了一種廢水循環回用為工業超純水的處理工藝,包括如下步驟:預處理、前置活性炭吸附、一級反滲透、后置活性炭吸附、二級反滲透和電去離子。反滲透后置活性炭吸附飽和以后可以通過簡單操作重復用于前置活性炭吸附。本發明可將富含有機清洗劑、重金屬離子的廢水處理成為TOC合格的超純水,并保證設備穩定運行,具有簡單、高效、穩定、低成本的優勢,水回用率達60%以上,可廣泛用于大量使用超純水的電子、半導體等工業的廢水處理以及城市中水回用為電廠鍋爐補給水的廢水處理。
聲明:
“廢水回用為工業超純水的處理工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)