本發明涉及一種由鈦金屬膜、鋁金屬膜及鈦金屬膜組成的鈦-鋁-鈦金屬層疊膜用蝕刻液組合物。該組合物由氟化物、氧化性酸、非氧化性堿金屬鹽以及水組成。其中,非氧化性堿金屬鹽優選為水溶性的鋰、鉀、鈉鹽中的至少一種;氟化物、氧化性酸和非氧化性堿金屬鹽的質量百分濃度分別為0.01~5%、0.1~30%和0.0004~0.35%。與現有技術相比,本發明的優點在于,可以將三層金屬層疊膜一起進行蝕刻,并可有效降低側蝕量、提高蝕刻均勻性,得到的錐角在25度以下;另外,該蝕刻液組合物不采用價格昂貴的鹽類輔助氧化劑,而是采用價格更為低廉的非氧化性鹽類或其混合物,降低了生產成本,達到了成本和性能的平衡。
聲明:
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