本發明公開了一種基于鈮酸鋰單晶薄膜的聲學縱向剪切波諧振器,所述諧振器自上而下依次包括叉指電極層、壓電薄膜層、底電極層以及基底;其中,壓電薄膜層的材質為單晶鈮酸鋰,該單晶鈮酸鋰的切向為X切,30°Y方向。本發明采用了X?cut,30°Y傳LN,此切向的LN具有最大的機電耦合系數,并且將金屬電極的厚度盡可能做薄。本發明中的YBAR可以實現55%的機電耦合系數。
聲明:
“基于鈮酸鋰單晶薄膜的聲學縱向剪切波諧振器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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