本發明公開了一種差分鈮酸鋰調制器,涉及光通信器件技術領域,從下往上依次包括基底層、襯底層、集成波導層和覆蓋層,集成波導層包括鈮酸鋰波導層和兩個間隔分布的高折射率層,高折射率層位于鈮酸鋰波導層和覆蓋層之間;同時,調制器還包括第一電極組、兩個相對設置的第二電極組,第一電極組位于襯底層內,兩個第二電極組位于集成波導層上方;第一電極組從下往上依次包括直接接觸的第一金屬電極和第一導電層;第二電極組從下往上依次包括直接接觸的第二導電層和第二金屬電極。本發明提供的差分鈮酸鋰調制器,具有抗干擾能力強、結構尺寸小、調節效率高等優點。
聲明:
“差分鈮酸鋰調制器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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