一種用于陶瓷基復合材料的超快激光拋光加工方法,先將SiC陶瓷基復合材料加工樣片固定在激光加工設備上,激光加工設備包括光路系統和加工平臺,光路系統包括飛秒激光器,飛秒激光器的激光經過反射鏡、擴束鏡、光闌、振鏡及場鏡組件后作用于加工平臺上;加工平臺包括相對于工作臺在x、y和z軸方向的三維運動機構以及夾具,在三維運動機構中安裝角位移臺,通過調節角位移臺能夠改變y軸方向與工作臺法線夾角大小,以獲得大的激光入射角;通過計算機分別控制飛秒激光器的激光參數、振鏡的振鏡圖形掃描及三維運動機構的移動對加工樣片進行拋光;本發明利用激光與加工平臺協同作業,根據需要調節橫向縱向的光斑重疊率,保證加工的均勻性,加工效率高。
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