本發明提出了一種基于二氧化釩薄膜相變特性的太赫茲波調制裝置及其方法,它由基底、二氧化釩薄膜和表面金屬超材料三層結構構成。這種太赫茲波調制裝置利用二氧化釩可逆相變過程中光電參數突變量大和相變時間短的特性,實現太赫茲波的強度調制。裝置調制方法是采用外加熱量、偏壓或激光激發中的一種或多種途徑來激發二氧化釩薄膜。本發明采用二氧化釩薄膜為核心動態功能材料來設計和制備太赫茲波動態調制器件,可以解決目前太赫茲動態器件調制效率低、調制速度慢的問題。
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