本發明涉及一種薄膜太陽能電池吸收層的制備方法,屬于光電功能材料和新能源技術領域。其特征在于,采用真空磁控濺射法制備銅銦硒或銅銦鎵硒或銅銦鋁硒吸收層,直接使用銅銦硒或銅銦鎵硒或銅銦鋁硒合金靶材,由靶材成分控制吸收層成分,由濺射工藝控制成膜質量。磁控濺射法制備的吸收層隨后還可在保護氣氛中進行退火處理,以進一步改善結晶質量。本發明制備的吸收層由均一的銅銦硒相或銅銦鎵硒相或銅銦鋁硒相構成,成分分布均勻,并且與靶材成分一致。本發明工藝簡便,易于控制,沉積時基體溫度較低,可選擇襯底種類多,適于工業化生產。
聲明:
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