權利要求書： 1.一種含氯硅烷的廢氣和廢液焚燒及回收處理裝置，其特征在于，所述處理裝置包括依次連接的焚燒爐、余熱鍋爐、急冷塔、除塵器、鹽酸吸收塔、堿洗塔、再熱器、SCR反應器和吸附設備；所述焚燒爐的頂部設有燃燒器，所述燃燒器的出口連接至焚燒爐的頂部入口。
2.根據權利要求1所述的含氯硅烷的廢氣和廢液焚燒及回收處理裝置，其特征在于，所述焚燒爐包括立式頂燃爐，所述焚燒爐上設有廢氣入口和廢液入口，所述廢液入口處設有噴嘴。
3.根據權利要求1所述的含氯硅烷的廢氣和廢液焚燒及回收處理裝置，其特征在于，所述燃燒器的入口通入天然氣和空氣。
4.根據權利要求1所述的含氯硅烷的廢氣和廢液焚燒及回收處理裝置，其特征在于，所述余熱鍋爐包括膜式壁余熱鍋爐，所述焚燒爐的底部出口通過傾斜煙道與余熱鍋爐的熱源入口相連，兩者共用一個排灰口。
5.根據權利要求1所述的含氯硅烷的廢氣和廢液焚燒及回收處理裝置，其特征在于，所述除塵器包括布袋除塵器。
6.根據權利要求1所述的含氯硅烷的廢氣和廢液焚燒及回收處理裝置，其特征在于，所述處理裝置還包括降溫吸收塔，所述降溫吸收塔設置于除塵器和鹽酸吸收塔之間。
7.根據權利要求1所述的含氯硅烷的廢氣和廢液焚燒及回收處理裝置，其特征在于，所述處理裝置還包括引風機，所述引風機設置于堿洗塔和再熱器之間。
8.根據權利要求1所述的含氯硅烷的廢氣和廢液焚燒及回收處理裝置，其特征在于，所述再熱器包括換熱器或燃燒器，所述燃燒器包括煙道式燃燒器。
9.根據權利要求1所述的含氯硅烷的廢氣和廢液焚燒及回收處理裝置，其特征在于，所述吸附設備包括活性炭吸附箱。
10.根據權利要求1所述的含氯硅烷的廢氣和廢液焚燒及回收處理裝置，其特征在于，所述處理裝置還包括煙囪，所述吸附設備的氣體出口與煙囪相連。
說明書： 一種含氯硅烷的廢氣和廢液焚燒及回收處理裝置技術領域[0001] 本實用新型屬于廢棄物回收處理技術領域，涉及一種含氯硅烷的廢氣和廢液焚燒及回收處理裝置，尤其涉及一種多晶硅生產過程中排出的含氯硅烷廢氣和廢液焚燒及回收處理裝置。背景技術[0002] 隨著微電子產業和光伏產業的迅速發展，對其基礎原材料多晶硅的需求也與日俱增，多晶硅在化工、冶金、機械、電子等眾多學科與領域中均有廣泛應用。而隨著
聲明：
“含氯硅烷的廢氣和廢液焚燒及回收處理裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：南京博納能源環?？萍加邢薰?nbsp;
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2025年08月07日 ~ 09日 
