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            > 無損檢測技術

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            湖北有色金屬無損檢測技術理論與應用

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            基于遺傳算法和靜力測量數據的隨機結構損傷識別方法

            本發明涉及基于遺傳算法和靜力測量數據的隨機結構損傷識別方法,包括有以下步驟:1)初步得到隨機結構損傷指數的統計特性;2)定義單元損傷的概率為損傷發生前的隨機剛度或彈模Kai大于Kdi的概率;3)引入損傷概率指標把損傷概率指標的一些單元確定為無損傷單元,其損傷指數的統計特性作相應的調整;5)再回到步驟1)初始的損傷識別的控制方程,經重新整理后,可以得到結構損傷指數的目標函數;6)利用遺傳算法求解步驟5)目標函數的最小值,從而得到損傷指數的統計特性。本發明的優點是由于遺傳優化算法對參數的類型、數量和大小限制不大,因而可以進行不同損傷程度的多損傷識別。

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            無損檢測
            湖北 - 武漢 來源:中冶有色網 2023-03-19
            深海探測平臺多功能通用天線裝置

            本發明公開了一種深海探測平臺多功能通用天線裝置,天線裝置包括衛星外罩、無線外罩、透水護罩、Ⅰ號換能器、Ⅱ號換能器、Ⅲ號換能器、北斗接收模塊、北斗發射模塊、GPS模塊和無線信號發射器;北斗接收模塊、GPS模塊、北斗發射模塊安裝在衛星外罩的空腔內,無線信號發射器安裝在無線外罩的空腔內,衛星外罩和無線外罩之間通過螺紋連接和密封圈密封;Ⅰ號換能器和Ⅰ號換能器基桿、Ⅱ號換能器和Ⅱ號換能器基桿,Ⅲ號換能器和Ⅲ號換能器基桿分別一體硫化成型,Ⅰ號換能器基桿與無線外罩之間通過螺紋連接和密封圈密封;其余連接處為法蘭連接和密封圈密封。本發明采用模塊拼接式結構,可以實現快速無損拆卸、互換維修及功能拓展。

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            無損檢測
            湖北 - 宜昌 來源:中冶有色網 2023-03-19
            芯片樣品及其獲取方法、測試封裝體及其形成方法

            本發明涉及一種芯片樣品及其獲取方法,一種測試封裝體及其形成方法,其中所述芯片樣品獲取方法包括:提供IC封裝體,所述IC封裝體包括基板、固定于所述基板正面的芯片樣品以及覆蓋所述基板正面及所述芯片樣品的封裝保護層,所述芯片樣品的焊墊通過金線鍵合結構與所述基板之間形成電連接;去除所述IC封裝體的基板,暴露出所述芯片樣品的背面;自所述IC封裝體正面研磨所述封裝保護層,直至暴露出所述芯片樣品的焊墊上的金球,所述金球為金線鍵合過程中形成的連接金線弧與焊墊的金球;去除所述封裝保護層。上述方法能夠獲取無損的芯片樣品。

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            無損檢測
            湖北 - 武漢 來源:中冶有色網 2023-03-19
            大體積混凝土導熱系數測試裝置及方法

            本發明公開一種大體積混凝土導熱系數測試裝置及方法,包括步入式高低溫交變濕熱試驗箱和大體積混凝土樣本,所述大體積混凝土樣本內部從上至下預埋有多層溫濕度傳感器和溫度傳感器,大體積混凝土樣本內部豎向設有加熱棒,所述溫濕度傳感器和溫度傳感器的數據線與步入式高低溫交變濕熱試驗箱外部的數據采集裝置連接,本發明能夠基于溫度熱響應原理,實時、快速、無損地測試混凝土導熱系數。

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            湖北 - 宜昌 來源:中冶有色網 2023-03-19
            精確定位電遷移測試中空洞位置的方法

            本發明提供一種精確定位微電子器件電遷移測試中空洞位置的方法,將聚焦離子束機臺切割以及納米探針接地的作用應用到微電子器件電遷移測試中空洞位置的無損定位中,大大提高電遷移空洞定位的精確度,進而提高了電遷移失效分析的成功率及效率。

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            無損檢測
            湖北 - 武漢 來源:中冶有色網 2023-03-19
            基于PPM傳輸系統的偏振模色散監測方法及系統

            本發明公開了一種偏振模色散監測方法及系統,包括:確定來自加載脈沖位置調制的載波的單邊帶光譜中預設頻率的光信號;將預設頻率的光信號分離出對應的F軸信號和S軸信號;將S軸信號與射頻信號進行正交混頻,確定S軸信號中的I路信號;將S軸信號與90°相移后的射頻信號進行正交混頻,確定S軸信號中的Q路信號;將F軸信號與射頻信號進行正交混頻,確定F軸信號中的I路信號;將F軸信號與90°相移后的射頻信號進行正交混頻,確定F軸信號中的Q路信號;其中,S軸信號中的I路信號、S軸信號中的Q路信號、F軸信號中的I路信號以及F軸信號中的Q路信號用于確定偏振模色散效應對載波的影響。本發明成本低、監測范圍廣、對信號無損傷。

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            無損檢測
            湖北 - 武漢 來源:中冶有色網 2023-03-19
            用于長期觀測大腦皮層的顱骨光透明試劑和方法

            本發明實施例公開了一種用于長期觀測大腦皮層的顱骨光透明試劑和方法,所述試劑包括:質量分數為25%?30%的酰胺類有機化合物及其衍生物的醇溶液;質量分數為15%?20%的陰離子表面活性劑水溶液;紫外光固化膠。本發明實施例通過先后在顱骨表面滴加質量分數為25%?30%的酰胺類有機化合物及其衍生物的醇溶液、質量分數為15%?20%的陰離子表面活性劑水溶液和紫外光固化膠,進行單次處理即可獲得長期透明的顱骨光透明窗,可用于光學顯微成像系統進行成像,建立了無損、長期、非侵入的透明顱窗,實現了皮層血管網絡的高分辨成像,操作簡單,成像質量高,可用于長期觀測。

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            無損檢測
            湖北 - 武漢 來源:中冶有色網 2023-03-19
            用近紅外光譜儀掃描預測青磚茶原料渥堆程度的方法

            一種用近紅外光譜儀掃描預測青磚茶原料渥堆程度的方法,應用近紅外光譜儀、以積分球為光學平臺進行掃描,包括以下步驟:青磚茶原料的選取,青磚茶原料樣品近紅外光譜掃描,利用光譜軟件將青磚茶渥堆原料近紅外光譜全部轉化為成對的數據點,在Matlab軟件平臺對上述數據點進行主成分分析,分別以前三個主成分數PC1、PC2和PC3作為X軸、Y軸和Z軸,將數據輸入到origin?8.0軟件中,得到不同渥堆程度青磚茶渥堆原料樣品的空間分布圖,不同渥堆程度青磚茶渥堆原料樣品在空間中沒有出現交叉分布的情況;從而實現了快速準確無損的預測青磚茶原料的渥堆程度的目的。

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            無損檢測
            湖北 - 武漢 來源:中冶有色網 2023-03-19
            利用近紅外光譜快速測定甘藍型油菜種子中生育酚含量的方法

            本發明一種利用近紅外光譜快速測定甘藍型油菜種子中生育酚含量的方法,該方法具體包括:利用近紅外光譜分析儀采集樣品的光譜數據作為校正集;對校正集的近紅外光譜進行預處理;將校正集樣品的化學值與近紅外光譜數據關聯,建立不同的定標方程,確定校正模型;利用驗證集對近紅外校正模型進行外部驗證。本發明的優點在于:可快速、高效、無損地對甘藍型油菜油菜種子中生育酚含量進行測定,為油菜高生育酚育種提供了快捷有效的方法,從而極大地加快新品種的選育進程。

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            湖北 - 武漢 來源:中冶有色網 2023-03-19
            土體全含水量滲透系數測定裝置

            本實用新型公開了一種土體全含水量滲透系數測定裝置,屬于巖土工程技術領域。所述土體全含水量滲透系數測定裝置包括:所述夾持機構設置在所述低場核磁共振儀內,所述土體設置在夾持機構內,所述夾持機構內設置有空腔;所述抽真空機構與所述空腔連通;兩個所述溫度控制機構分別與所述夾持機構的兩端連通,所述溫度控制機構輸送的控溫液體與所述土體的兩端接觸;兩個所述水力控制機構的輸出端分別緊貼所述土體的兩端;所述土體內設置有第一溫度傳感器,所述第一溫度傳感器與所述數據采集儀連接。本實用新型土體全含水量滲透系數測定裝置可以快速、直接、無損的獲取土體全含水滲透系數,測定精度高。

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            無損檢測
            湖北 - 武漢 來源:中冶有色網 2023-03-19
            支持任意多路并聯的高精度充放電測試儀

            本實用新型涉及一種支持任意多路并聯的高精度充放電測試儀,包括柜體框架,以及設置在柜體框架上的至少一個充放電通道;所述充放電通道包括相互連接的主電路和控制電路;所述主電路包括一個多副邊的變壓器以及與變壓器連接的充放電模塊;測試儀還包括安裝在柜體框架上由電感和電容組成的輸入濾波單元、輸出濾波單元、預充電單元,各單元與充放電模塊及輸入、輸出接觸器間通過電纜連接。本實用新型具有如下優點:1.支持多通道獨立運行或任意并聯,且并聯后各性能指標無損失,測控精度達到0.1%。2.采用多通道冗余保護,大幅度增強了系統可靠性。3.采用獨立大容量存儲工藝控制器,在通訊中斷時仍能保證工藝不中斷,避免數據丟失。

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            湖北 - 武漢 來源:中冶有色網 2023-03-19
            基于掃描電子顯微鏡的三維關鍵尺寸測量方法

            本發明公開了一種基于掃描電子顯微鏡的三維關鍵尺寸測量方法,屬于半導體技術領域。所述方法包括:將電子束沿豎直方向傾斜第一角度入射溝道,通過掃描電子顯微鏡拍攝溝道圖片得到第一圖片,分析第一圖片得第一角度的正切表達式;將電子束沿豎直方向傾斜第二角度入射溝道,第二角度與第一角度不等,通過掃描電子顯微鏡拍攝溝道圖片得到第二圖片,分析第二圖片得到第二角度的正切表達式;根據第一角度的正切表達式和第二角度的正切表達式計算溝道的三維關鍵尺寸。本發明中,實現了高深寬比的三維關鍵尺寸的快速在線無損測量,其不僅能夠節約時間和成本,縮短研發周期,而且能夠滿足大規模的生產要求。

            標簽:
            無損檢測
            湖北 - 武漢 來源:中冶有色網 2023-03-19
            基于光纖傳感的過山車軌道結構健康監測系統

            本發明公開了一種光纖傳感的過山車軌道結構健康監測系統,包括光纖光柵傳感器模塊,包括若干光纖光柵應變傳感器和若干三維光纖光柵加速度傳感器,用于關鍵結構參數的實時監控;光纖光柵解調儀,通過光纖光纜連接光纖光柵傳感器模塊,用于解調光纖光柵傳感器產生的波長信號;監控主機用于通過通信網絡完成對光纖光柵傳感器模塊的驅動、控制光纖光柵解調儀的解調以及過山車軌道監控參數的獲取。本發明實現了對過山車軌道的無損、抗干擾的實時監測,具有易于安裝、維護的優點。

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            無損檢測
            湖北 - 武漢 來源:中冶有色網 2023-03-19
            綠葉面積自動測量裝置及方法

            本發明涉及綠葉面積自動測量裝置及方法,本裝置包括流水線系統、可見光CCD成像系統、電動旋轉臺、旋轉臺控制器、計算機、圖像采集卡,電動旋轉臺依次與旋轉臺控制器和計算機相連,可見光CCD成像系統依次與圖像采集卡和計算機相連,本發明由計算機控制,采用流水線系統,將待提取參數的樣品送上電動旋轉臺,由CCD成像系統拍攝頂部、水平0°和90°三個固定角度下的植株圖像,由計算機將所得圖像進行圖像分割,從分割后的圖像中通過判斷提取出綠葉部分,統計各個角度下植株綠葉的觀測面積,計算出植株的綠葉面積。本發明利用CCD成像的方法,從圖像中自動計算出綠葉面積,具有安全無損、測量結果準確可靠等優點。

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            無損檢測
            湖北 - 武漢 來源:中冶有色網 2023-03-19
            用于激光探測NMR信號裝置的氣動進樣裝置

            本發明公開了一種用于激光探測核磁共振(NMR)信號裝置的氣動進樣裝置,涉及氣動傳送領域。該氣動進樣裝置由控制系統(a)和樣品滑動倉(b)組成,樣品滑動倉(b)由樣品管(12)、外氣缸(13)、內氣缸(14)、側氣口(15)和頂氣口(16)組成。本發明用于一種基于激光原子磁力計的NMR裝置中,實現樣品在預極化區和探測區來回傳送。本發明的優點是樣品在信號探測過程中無損耗、無污染,樣品更換方便,所需樣品量少,傳送速度快,穩定性好,且引入的噪聲與現有技術相比明顯減小。

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            無損檢測
            湖北 - 武漢 來源:中冶有色網 2023-03-19
            盆腔臟器脫垂測量器
            盆腔臟器脫垂測量器 1172     
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            本實用新型涉及醫療器械技術領域,尤其是一種盆腔臟器脫垂測量器。包括圓筒狀的尺芯和尺筒,所述尺芯可在所述尺筒中滑動,所述尺芯的頂端連接有吸盤,尾端連接有手柄,所述尺芯由兩部分組成,靠近尾端的部分有長度刻度,靠近頂端的部分包括連接部,所述連接部的外徑與尺筒的內徑相同;所述尺筒外壁上有長度刻度,且所述尺筒的頂端有隔板,尾端有翼板。本實用新型的尺芯可拉伸,吸盤附著面大,隔板設計可穩定測量。適用于盆腔臟器脫垂的患者,其對粘膜無損傷,亦可一次性測量出陰道內所有所需數據。其定位準確,讀數方便,舒適度好、易操作、精準度高。

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            無損檢測
            湖北 - 武漢 來源:中冶有色網 2023-03-19
            破碎程度測定方法、裝置、電子設備及可讀存儲介質

            本發明提供一種破碎程度測定方法、裝置、電子設備及可讀存儲介質,包括:以原始級配中每一種顆粒的粒徑為橫坐標,以與每種顆粒粒徑相對應的質量百分比為縱坐標,構建第一曲線;以目標級配中每一種顆粒的粒徑為橫坐標,以與每種顆粒粒徑相對應的質量百分比為縱坐標,構建第二曲線;以極限級配中每一種顆粒的粒徑為橫坐標,以與每種顆粒粒徑相對應的質量百分比為縱坐標,構建第三曲線;根據第一曲線、第二曲線及第三曲線,確定目標級配中顆粒的破碎程度。區別于基于各個粒組含量變化進行堆石料破碎程度測定,本發明體現堆石料級配曲線整體的破碎變化,解決傳統坑測法耗時耗力,有損大壩的問題,本發明快速無損,適用于各種復雜的土石壩填筑環境。

            標簽:
            無損檢測
            湖北 - 武漢 來源:中冶有色網 2023-03-19
            植物株高自動測量裝置及方法

            本發明涉及植物株高自動測量裝置及測量方法,本裝置包括流水線系統、可見光CCD成像系統、電動旋轉臺、旋轉臺控制器、計算機、圖像采集卡,電動旋轉臺依次與旋轉臺控制器和計算機相連,可見光CCD成像系統依次與圖像采集卡和計算機相連,本發明由計算機控制,采用流水線系統,將待提取參數的樣品送上電動旋轉臺,由CCD成像系統拍攝單個角度下的植株圖像,由計算機將所得圖像進行圖像分割,從分割后二值圖像經過骨架提取和葉片路徑搜索可得到該角度下投影株高,最后求出所有角度下投影株高的最大值作為植株的高度。本發明利用CCD成像的方法,從圖像中自動計算出株高,具有安全無損、測量結果準確可靠等優點。

            標簽:
            無損檢測
            湖北 - 武漢 來源:中冶有色網 2023-03-19
            植物分蘗數自動測量裝置及方法

            本發明涉及植物分蘗數自動測量裝置及測量方法,本裝置包括流水線系統、X射線成像系統、電動旋轉臺、旋轉臺控制器、計算機、圖像采集卡,電動旋轉臺依次與旋轉臺控制器和計算機相連,X射線成像系統依次與圖像采集卡和計算機相連,本發明由計算機控制,采用流水線系統,將待提取參數的樣品送上電動旋轉臺,由X射線成像系統拍攝投影正弦圖像,由計算機將所得圖像進行斷層重建,從重建結果計算得到植物的分蘗數。本發明利用X射線斷層成像的方法,從重建出的圖像中提取出分蘗數,具有安全無損、測量結果準確可靠等優點。

            標簽:
            無損檢測
            湖北 - 武漢 來源:中冶有色網 2023-03-19
            監測存儲介質厚度異常的方法及裝置

            在本發明提供一種監測存儲介質厚度異常的方法及裝置,該方法包括:采集存儲介質的實際光譜;將其與目標薄膜層對應的第一回歸擬合模型中的第一擬合光譜進行擬合,獲得每個第一擬合光譜與上述實際光譜的第一回歸擬合優度;其中,第一回歸擬合模型包括該存儲介質中目標薄膜層的多個第一預設厚度值,以及每個第一預設厚度值對應的第一擬合光譜,第一回歸擬合優度表征目標層對應的第一擬合光譜和實際光譜的相似程度;當最大的第一回歸擬合優度小于第一閾值時,監測到所述存儲介質的厚度異常??梢?,該方案能夠對存儲介質的厚度異常,進行有效地、無損傷地、實時在線地監測,并將厚度異常的信號反饋給工藝部門,優化工藝控制。

            標簽:
            無損檢測
            湖北 - 武漢 來源:中冶有色網 2023-03-19
            定量測定固體推進劑老化生成氣體的裝置及方法

            本發明提供了一種定量測定固體推進劑老化生成氣體的裝置及方法,包括真空泵、定容器、過濾器、氣體采樣袋和氣體分析儀。測量原理是先將固體推進劑老化生成的氣體定容、定壓,然后測定氣體的體積分數,記錄氣體溫度,最后根據理想氣體狀態方程,計算得到生成氣體物質的量,進而得到單位質量推進劑老化生成氣體的質量。本發明可用于固體推進劑組分相容性評估中生成氣體的收集與測量,可為固體推進劑及發動機裝藥老化狀態無損評估提供一種技術途徑。

            標簽:
            無損檢測
            湖北 - 襄陽 來源:中冶有色網 2023-03-19
            基于電阻率法混凝土齡期等效的試驗測試系統

            一種基于電阻率法混凝土齡期等效的試驗測試系統,它包括電腦,電腦與自動采集與短接裝置連接,自動采集與短接裝置包括繼電器、混凝土試樣、智能電阻測試儀,金屬板作為混凝土試樣的導電裝置與繼電器連接,而繼電器另一端與智能電阻測試儀相連。本發明提供了一種無損快捷測試混凝土齡期的試驗系統,本發明對混凝土標準試樣進行室內試驗,通過編制程序實現了獲取任意養護溫度下混凝土的電阻率,再利用標準養護條件下的電阻率換算,得到任意養護溫度下的混凝土等效齡期。

            標簽:
            無損檢測
            湖北 - 宜昌 來源:中冶有色網 2023-03-19
            基于圖像特征識別技術的非接觸位移應變測量方法

            本發明提出了一種基于圖像特征識別和匹配的非接觸式位移應變測量方法;該方法所需實驗設備和過程都比較簡單,實驗過程僅需用一個攝像機拍攝被測材料變形前后的數字圖像。被測材料的表面自然紋理可以作為標記散斑,如果被測材料的表面很均衡,也可以通過人工制作散斑技術獲得。相對來說,基于圖像處理的位移和應變的測量技術計算簡單,可行性強。非接觸類型的無損耗的測量方法,不會損耗材料的材質和特性,得到的數據更加精準,實現自動數據處理,可以得到全場位移和材料結構件的寬度等變化值,且對環境要求比較低。

            標簽:
            無損檢測
            湖北 - 武漢 來源:中冶有色網 2023-03-19
            基于弱反射率光柵陣列的橋梁主梁安全監測系統及方法

            本發明提供了一種基于弱反射率光柵陣列的橋梁主梁安全監測系統及方法,其系統中的弱反射率光柵陣列獲得橋梁主梁的光柵應變信號、光柵溫度信號和光柵振動信號;混合空分波分時分復用的解調裝置分別對光柵應變信號、光柵溫度信號和光柵振動信號進行解調,獲得光柵應變數據、光柵溫度數據和光柵振動數據,并將光柵數據發送至數據分析處理裝置;數據分析處理裝置對光柵數據進行處理,確定橋梁主梁的多物理參量,并根據多物理參量確定橋梁主梁的安全狀態;監控終端裝置用于構建橋梁主梁的虛擬模型,并基于虛擬模型將多物理參量進行實時動態展示。本發明提高了安全監測的可靠性,并實現了對橋梁主梁的高精度、大容量、長距離、低成本及無損監測。

            標簽:
            無損檢測
            湖北 - 武漢 來源:中冶有色網 2023-03-19
            巖石時效劣化過程的測試方法

            本發明涉及一種巖石時效劣化全過程的測試方法,測試方法通過在巖石試樣兩側兩個相互平行的側平面上分別放置一組非承壓聲波發射和非承壓接收探頭并不間斷地測量時效試驗過程中巖石試樣的橫向波速,同時在巖石試樣上端面和下端面上各放置一組承壓聲波發射和承壓接收探頭并不間斷地測量時效試驗過程中巖石試樣的縱向波速,然后借助理論公式將測量獲得的橫向波速和縱向波速換算成巖石試樣的橫向彈性模量和縱向彈性模量,最后分別對橫向彈性模量和縱向彈性模量進行數學回歸分析,從而獲得巖石試樣的時效劣化規律的表達函數。該方法可以有效地觀測巖石隨時間發生細觀劣化過程中的宏觀特征,實現對巖石試樣時效劣化的雙向同步全過程無損測量。

            標簽:
            無損檢測
            湖北 - 武漢 來源:中冶有色網 2023-03-19
            測量高壓下多晶體的單晶彈性性質的系統及方法

            本發明涉及一種測量高壓下多晶體的單晶彈性性質的系統及方法,系統包括飛秒激光器和偏振分束晶體,飛秒激光器發出的脈沖光源經過偏振分束晶體后分為激發光和探測光;還包括聲光調制器、倍頻器、光學延遲模塊和高壓樣品組裝模塊;所述激發光通過聲光調制器和倍頻器的調制后到達樣品組裝模塊的樣品腔內,能量被多晶樣品表面的金屬薄膜吸收,激發出超聲波,超聲波在多晶樣品中傳播;所述探測光被導入光學延遲模塊,然后被導入到樣品前的主光軸,與激發光一起聚焦于多晶樣品內部;還包括光電探測器、鎖相放大器、高速采集卡和計算機,通過實時跟蹤測量經聲波散射的探測光,獲知樣品中聲速的分布,從而推導出其單晶彈性常數。本發明具有全光學測量、無損、高壓強、高精度、實驗耗時短等特點,是目前測量超高壓下多晶樣品單晶彈性性質的優選方案。

            標簽:
            無損檢測
            湖北 - 武漢 來源:中冶有色網 2023-03-19
            高靈敏度液壓裝配式光纖自補償壓力監測傳感器

            本實用新型公開了一種高靈敏度液壓裝配式光纖自補償壓力監測傳感器,包括應變膜片、端蓋、筒體、裝配組件,在筒體內依次連接有活塞、敏感件、固定端頭、補償管、封頭端蓋,敏感件內設置有應變光柵,補償管內設置溫度光柵,通過裝配組件快速安裝在深水沉井側壁和端部,無需現場焊接,對傳感器無損傷,且密封性能優越,在應變膜片和端蓋之間形成空腔,空腔與流道內填充有液壓油,應變膜片受到壓力變形后,液壓油通過流道傳遞到活塞,通過敏感件及對應的應變光柵感知壓力變化從而產生光纖信號的變化,通過串聯的溫度光柵消除溫度對壓力監測結果的影響,整個傳感器的測量穩定性好、靈敏度系數大、測試精度高。

            標簽:
            無損檢測
            湖北 - 武漢 來源:中冶有色網 2023-03-19
            晶圓表面金屬膜厚度測量方法

            本發明提供一種晶圓表面金屬膜厚度測量方法,其包括如下步驟:獲得常數參數:在晶圓表面的兩個預設點處,獲得聲波在晶圓表面金屬膜內傳播的時間差;獲得所述兩個預設點處的表面高度差;將所述高度差及所述時間差的比值作為所述常數參數;晶圓表面金屬膜厚度測量:在晶圓表面的測量點處,獲得聲波在晶圓表面金屬膜內傳播的時間,以所述時間與所述常數參數的乘積作為所述測量點處的金屬膜厚度。本發明測量方法能夠實時監測晶圓表面金屬膜的厚度,且測量準確度高,大大提高了產能,節約了成本;并且,無需破壞晶圓即可獲得兩個預設點處的表面高度差,避免晶圓被破壞,提供了一種無損測量方法。

            標簽:
            無損檢測
            湖北 - 武漢 來源:中冶有色網 2023-03-19
            在線掃描激光厚度監測儀器

            本實用新型涉及激光厚度監測儀器技術領域,尤其涉及一種在線掃描激光厚度監測儀器,包括機體和工控柜,所述機體上設置有水平狀的供物料穿過的通槽,所述機體內壁的下端安裝有第一直線導軌,所述第一直線導軌上滑動連接有第一滑塊,所述第一滑塊的上端安裝有第一激光探頭,所述第一滑塊的下端固定連接有第一伺服電機,所述第一伺服電機的輸出軸連接有第一齒輪,機體內壁上還安裝有與第一直線導軌相平行的第一齒條,本裝置采用激光反射測量法,連續對被測物進行非接觸、無損傷厚度測量,不受被測物材質影響,具有無輻射、安全性能好、響應快速、維護簡單、性能穩定、精度高的特點,適用范圍廣泛。

            標簽:
            無損檢測
            湖北 - 咸寧 來源:中冶有色網 2023-03-19
            基于掃描電子顯微鏡測量側壁傾斜角的方法

            本發明公開了一種基于掃描電子顯微鏡測量側壁傾斜角的方法,屬于半導體技術領域。所述方法包括:將電子束沿豎直方向傾斜第一角度入射溝道,通過掃描電子顯微鏡拍攝溝道圖片得到第一圖片,分析第一圖片得到第一角度與預測量的側壁傾斜角之間的第一關系表達式;將電子束沿豎直方向傾斜第二角度入射溝道,第二角度與第一角度不等,通過掃描電子顯微鏡拍攝溝道圖片得到第二圖片,分析第二圖片得到第二角度與預測量的側壁傾斜角之間的第二關系表達式;根據第一關系表達式和第二關系表達式推算出預測量的側壁傾斜角的大小。本發明中,不僅實現了側壁傾斜角快速的在線無損測量,而且能夠節約時間和成本,縮短研發周期,從而滿足大規模的生產要求。

            標簽:
            無損檢測
            湖北 - 武漢 來源:中冶有色網 2023-03-19
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            黨委書記、董事長
            紫金礦業信息化研發中心
            副總經理
            遼寧忠旺集團
            教授級高工
            中南大學
            教授、博士生導師
            北京工業大學、中國工程院
            中國工程院 院士
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