本發明公開了一種基于掃描電子顯微鏡測量側壁傾斜角的方法,屬于半導體技術領域。所述方法包括:將電子束沿豎直方向傾斜第一角度入射溝道,通過掃描電子顯微鏡拍攝溝道圖片得到第一圖片,分析第一圖片得到第一角度與預測量的側壁傾斜角之間的第一關系表達式;將電子束沿豎直方向傾斜第二角度入射溝道,第二角度與第一角度不等,通過掃描電子顯微鏡拍攝溝道圖片得到第二圖片,分析第二圖片得到第二角度與預測量的側壁傾斜角之間的第二關系表達式;根據第一關系表達式和第二關系表達式推算出預測量的側壁傾斜角的大小。本發明中,不僅實現了側壁傾斜角快速的在線無損測量,而且能夠節約時間和成本,縮短研發周期,從而滿足大規模的生產要求。
聲明:
“基于掃描電子顯微鏡測量側壁傾斜角的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)