工作原理
FM-NanoviewOp-AFM采用光杠桿式AFM技術與光學顯微成像系統集成設計。光學模塊通過CCD相機實現樣品宏觀形貌觀察與定位,AFM模塊則通過微懸臂探針掃描樣品表面,利用激光反射檢測探針與樣品間的原子間作用力,生成納米級三維形貌數據。設備支持接觸模式、輕敲模式及力學曲線測量,可同步獲取光學圖像與AFM掃描結果。
應用范圍
該設備廣泛適用于半導體、材料科學、生物醫學及精密制造等領域,主要用于:芯片表面缺陷定位與納米結構分析;金屬、陶瓷、高分子材料的表面形貌與粗糙度檢測;生物樣本(如細胞、DNA)的微觀結構觀察;以及納米材料研發、摩擦學研究及工業產品表面質量控制。
產品技術參數
光學分辨率:0.5μm(明場/暗場)
AFM掃描范圍:XY軸50μm×50μm,Z軸8μm
XY軸分辨率:0.2nm
Z軸噪聲水平:<0.1nm
掃描速度:0.5-20Hz(可調)
探針類型:氮化硅/金屬鍍層探針(可選)
樣品尺寸:最大直徑150mm(兼容標準載玻片)
電源:AC220V±10%, 50Hz
外形尺寸:800×600×750mm
產品特點
一體雙模設計:光學顯微與AFM檢測無縫切換,提升定位效率與檢測精度。
高穩定性架構:采用大理石基座與抗震設計,適配實驗室與工業環境。
智能化軟件:內置自動調平、圖像拼接及數據分析功能,支持3D形貌重建與統計計算。
用戶友好操作:12.1英寸觸控屏集成控制,數據可導出為光學圖像、AFM掃描圖及力學曲線。
多功能擴展:可選配導電探針、高溫樣品臺及液體環境檢測模塊,適配復雜研究需求。