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工作原理
FSM-PRECISION采用光杠桿式原子力顯微技術，通過微懸臂探針掃描樣品表面。當探針針尖與樣品接近時，原子間作用力導致懸臂彎曲，激光照射懸臂背面并反射至光電探測器，通過檢測激光位移變化獲取表面形貌數據。設備支持接觸模式、輕敲模式及力學曲線測量，可適配不同樣品特性與檢測需求。
應用范圍
該設備廣泛適用于半導體、材料科學、生物醫學及精密制造等領域，主要用于：芯片表面缺陷檢測與薄膜厚度測量；金屬、陶瓷、高分子材料的納米級形貌分析；生物樣本（如細胞、DNA）的表面結構觀察；以及納米材料研發、摩擦學研究及工業產品表面質量控制。
產品技術參數
最大掃描范圍：XY軸100μm×100μm，Z軸10μm
XY軸分辨率：0.1nm（納米級）
Z軸噪聲水平：<0.05nm
掃描速度：0.1-30Hz（可調）
探針類型：氮化硅/金屬鍍層探針（可選）
工作環境：溫度15-35℃，濕度<70%RH
外形尺寸：600×500×700mm
電源：AC220V±10%, 50Hz
產品特點
高穩定性設計：采用工業級抗震框架與溫控系統，適配生產線環境。
智能化操作：內置自動調平、焦點追蹤及數據分析軟件，支持一鍵式掃描。
多功能擴展：可選配導電探針、高溫樣品臺及液體環境檢測模塊。
高精度成像：亞納米級分辨率，可清晰捕捉表面缺陷與納米結構。
用戶友好界面：10.1英寸觸控屏操作，數據可導出為3D圖像、輪廓曲線及統計報告。
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湖南 - 長沙
2025年08月07日 ~ 09日
