激光干涉儀

工作原理

XL80基于激光干涉測量原理，采用氦氖激光器（波長633nm）發射穩定光束，通過分光鏡將光束分為參考光與測量光。測量光經被測對象（如機床導軌、CMM軸）反射后，與參考光在傳感器處產生干涉。設備通過檢測干涉條紋的變化量，結合光波波長與相位差，自動計算并顯示位移（如位置誤差、重復定位精度）、角度（如俯仰、偏擺）或直線度參數，支持實時數據采集與動態分析。

應用范圍

該設備適用于數控機床、三坐標測量機、激光切割機、3D打印機等精密設備的幾何精度檢測與校準，尤其擅長對直線軸、旋轉軸的定位精度、重復性及反向間隙進行量化評估，廣泛服務于航空航天、汽車制造、模具加工及科研院校的計量實驗室。

產品技術參數

測量范圍：位移0~50m（可選配更長測程），角度±0.1°

分辨率：1nm（位移），0.1μrad（角度）

精度：±0.5ppm（位移），±1%（角度）

激光波長：633nm（氦氖激光器）

環境補償：內置溫度（±0.1℃）、氣壓（±1hPa）傳感器

數據輸出：USB/RS232接口，支持Renishaw專用軟件

電源：AC100~240V，50/60Hz

防護等級：IP40（實驗室環境）

產品特點

納米級測量精度：位移分辨率達1nm，角度分辨率0.1μrad，滿足ISO 230-2、ASME B5.54等國際標準要求。

多參數同步檢測：支持位移、角度、直線度、垂直度等多維度測量，適配復雜設備校準需求。

環境自適應補償：集成溫壓傳感器，自動修正環境因素對測量的影響，保障數據穩定性。

便攜與易用性：模塊化設計，重量≤15kg，支持快速安裝與自動對齊功能，降低操作門檻。

智能數據分析：配套專用軟件支持數據可視化、報告生成及誤差趨勢分析，提升計量效率。