2000℃溫度可控型30KW感應加熱爐SP-85KTC
產地:廣東
產品介紹
2000℃溫度可控型30KW感應加熱爐SP-85KTC是一款較大型高溫感應加熱、熔煉爐系統,配備30KW感應加熱器、8.5"(216mm)石英管、鉸接式法蘭及閥門、
石墨坩堝、石墨毯、
氧化鋁保溫毯、16L/min循環冷水機、
真空泵和移動爐架,最高溫度可以達到2000℃(使用時石英管內需通入保護性氣體),是生長晶體、金屬熔煉和各種材料的熱處理的**選擇。
2000℃溫度可控型30KW感應加熱爐SP-85KTC操作視頻
產品型號
2000℃溫度可控型30KW感應加熱爐SP-85KTC
安裝條件
本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:設備配有自循環冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)
2、電:AC380V 50Hz(63A空氣開關),必須有良好接地
3、氣:設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶?6mm雙卡套接頭)
4、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上
5、通風裝置:需要
主要特點
1、采用多塊氧化鋁制作的耐火材料,用于支撐石墨坩堝,并防止熱量輻射。
2、設有自動水壓、過熱、功率過高保護系統。
3、溫控器采用PID方式控溫,可設置30段升降溫程序,設有過熱和斷偶保護功能。
4、配有防腐型真空計,當氣壓在10mbar以上時,不需因測量氣體種類的不同進行系數轉換,量程可到3.8×10E-5
torr。
5、迷你型浮子流量計精度為4%。
6、配有雙級旋片機械泵(2L/s),可使石英管內真空度達到10E-2torr。
技術參數
感應加熱器
1、工作電壓:三相AC 380V 50Hz(需60A空氣開關)
2、工作電流:7Amps-70Amps(需100A空氣開關)
3、功率:最大振蕩功率30KW,最大輸入功率15KW
4、輸出頻率:30KHz-110KHz
5、占空比:80%
6、感應線圈:內徑?220 mm,高65 mm
7、空氣冷卻:后風扇
溫度控制器及熱電偶
1、工作電壓:AC208V-240V 單相
2、控溫精度:±3℃
3、熱電偶:C型,外徑?1/4",長10"
4、連續工作溫度范圍:1000℃-2000℃
5、最大升溫速率:4℃/s(1000℃-1200℃)、3℃/s(1200℃-1500℃)、1℃/s-2℃/s(1500℃-2000℃)
石墨坩堝(易耗件)
1、高純石墨坩堝:外徑?114mm,內徑?100mm,高142mm
2、最大容量:樣品所占容積應為石墨坩堝容積的1/2,最大質量為4kg(以鐵標定)
3、保溫層:石墨坩堝外環繞三層隔熱材料,從內至外分別為石墨氈(可耐溫2200℃)-氧化鋁(可耐溫1700℃)-高
溫氈,總厚度為32mm
石英管和密封法蘭
1、石英管:兩端開口,外徑?216mm,內徑?208mm,長500mm
2、頂部法蘭:采用不銹鋼折疊式法蘭,裝有防腐型真空計、不銹鋼截止閥,設有1個1/4"的鎧裝接口(可插入熱電
偶至石英管內部,更準確地測量樣品溫度)
3、底部法蘭:設有KF25接口,可通過波紋管與真空泵相連接
水冷機
1、溫度:5℃-30℃
2、水流速:>16L/min
3、水箱容積:12L,采用不銹鋼制作
4、水壓:≥0.1MPa
5、流量:≥5L/min
(建議使用特定的冷卻劑液以達到***冷卻效果)
真空泵
工作電壓:AC208V-240V單相
移動爐架
尺寸:700mm×1000mm×700mm,鋼框架結構,方便移動感應加熱器和帶法蘭的石英管
產品規格
注意事項
操作前,必須仔細閱讀說明書,且操作人員需帶防護面罩。使用時,熔煉必須在≤0.02Mpa 的流動氬氣下進行,流
量小于200ml/min,需始終保持石英管內的氣壓<0.02MPa。升溫過程中需時刻注意石英管內的氣壓,若氣壓超過安
全值,會引起石英管開裂、法蘭蹦出,甚至造成人身傷害。
其他事項
本機可改為RTP(快速熱處理爐)和混合物物理化學氣相沉積(HPCVD)系統。