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            N-TOPCon電池及其制作工藝的制作方法

            1126   編輯:中冶有色網   來源:東方日升新能源股份有限公司  
            2023-10-24 11:36:47
            n-topcon電池及其制作工藝 技術領域 1.本技術涉及太陽能電池技術領域,具體而言,涉及一種n-topcon電池及其制作工藝。 背景技術: 2.n型topcon電池和hjt電池是當下比較熱門的兩大新型電池,n型topcon電池與現有的perc電池產線具有很好的兼容性。對于n型topcon太陽能電池,目前的主流制備工藝包括:硅片-制絨-正面硼擴散形成n型硅片-背面刻蝕-隧穿氧化-原位摻雜非晶硅-去繞鍍-正面氧化鋁-正面氮化硅-背面氮化硅-印刷燒結-測試分選。 3.p型太陽能電池的制備工藝中,需要對硅片進行磷擴散以使得硅片成為p型硅片,進行磷擴散的主要目的是為了形成pn結。而p型太陽能電池的壽命相較于n型太陽能電池壽命較短,現有技術中,有在常規p型太陽能電池的制作工藝前先通過磷擴散的方式吸雜,從而達到提高p型太陽能電池的轉換效率,提高少子壽命。由于p型太陽能電池的制備工藝中,原本就需要進行磷擴散形成pn結,則可以利用原本的產線設備進行磷擴散除雜。 4.現有的n型topcon電池所使用的單晶硅片一般都不是100%的純硅,其是帶有一些雜質的具有一定純度的硅片,這些雜質則會影響n型topcon電池的少子壽命。由于n型太陽能電池的少子壽命一般都比p型太陽能電池的少子壽命長,本領域人員通常不會去增加工藝來提升n型topcon電池的少子壽命,因為n型太陽能電池的少子壽命本身較高,則認為沒有必要進行進一步提高了;另一方面,即使是有提升n型topcon電池的少子壽命和電池效率的手段,現有的一些提升n型topcon電池的少子壽命和電池效率的方式一般是通過鍍鈍化膜來實現的。 技術實現要素: 5.本技術提供了一種n-topcon電池及其制作工藝,該制作工藝能夠有效提高硅片來料較差的n-topcon電池的少子壽命,增加電池效率。 6.本技術的實施例是這樣實現的: 7.第一方面,本技術實施例提供一種n-topcon電池的制作工藝,包括: 8.s1:對硅片進行磷擴散以吸附硅片的雜質; 9.s2:去除硅片表面形成的磷硅玻璃; 10.s3:對硅片依次進行制絨、硼擴散形成pn結; 11.s4:對步驟s3得到的硅片進行后處理制得n-topcon電池。 12.在一種可能的實施方案中,對硅片進行磷擴散的步驟包括:在第一溫度下通入磷源并將硅片保持在磷源氣氛下,然后在第二溫度下保
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