本發明公開了一種摻Mn的鈦酸鉍鈉-鈦酸鋇薄膜的制備方法,其制備方法如下:以高純Bi2O3,Na2CO3,BaCO3,TiO2為原料,將原料在無水乙醇中用鋯球濕磨、烘干、壓片,在一定大氣壓下鍛燒,制得鈣鈦礦結構粉料;將所得鈣鈦礦結構粉料二次球磨烘干后壓片,并于1200℃下保溫1-4小時燒結得到靶材;裝好靶材和襯底,調節靶基距、濺射溫度、功率、頻率;濺射完畢在原位退火,保持氧氣壓并自然冷卻至室溫,制得摻Mn的鈦酸鉍鈉-鈦酸鋇薄膜。本發明可以通過工藝參數調控薄膜的取向和厚度,制備的無鉛壓電薄膜顯示出較好的鐵電與介電性能,具有操作方便,重復性好的優點。
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