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            制備AZO靶材的工藝

            1171   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-18 14:28:55
            本發明涉及一種制備AZO靶材的工藝,其包括將菱鋅礦粉加入氨水和碳酸氫氨溶液中進行浸出,對浸出液進行除雜、過濾;將過濾后的固體先用氨水溶液洗滌,再用無水乙醇淋洗;接著進行陳化、抽濾,得到前驅體;將前驅體干燥、煅燒,得到納米氧化鋅粉體;將上述納米氧化鋅粉體和氧化鋁粉體加入聚丙烯酸溶液中,形成懸浮液,再對懸浮液進行球磨;接著將過硫酸銨和四甲基乙二胺均勻加入球磨后的懸浮液中,進行真空除氣后倒入模具,并固化、脫模干燥得到生坯;對生坯排膠處理后進行燒結,得到?AZO?靶材。本發明不僅工藝流程較短,設備投資較??;本發明將氧化鋅納米級顆粒通過上述工藝制備的AZO靶材成分分布均勻、密度高,提高了AZO靶材的使用性能。
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            “制備AZO靶材的工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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