本實用新型涉及水處理技術領域，更具體地說，涉及一種本地水洗式氣體洗滌塔及其廢水回收處理系統。
背景技術：
局部氣體洗滌塔，是指半導體生產廠用于薄膜、擴散、蝕刻等半導體制程區域生產設備端就近進行廢氣處理的輔助機器。局部氣體洗滌塔是半導體行業廢氣處理系統的重要組成部分，其主要作用是處理廢氣、蒸汽和懸浮顆粒物。
本地水洗式氣體洗滌塔(wetlocalscrubber)為局部氣體洗滌塔的一種，主要用于處理可溶于水的腐蝕性氣體。本地水洗式氣體洗滌塔主要將制程設備操作時產生的副產物及未反應完全的反應氣體經過循環泵供應的水沖洗，然后將可溶于水的氣體或懸浮顆粒去除。本地水洗式氣體洗滌塔的沖洗水的排水就稱為氣體洗滌塔廢水。
本地水洗式氣體洗滌塔的用水量占到半導體廠生產水用量的20％左右，現有技術中直接將本地水洗式氣體洗滌塔產生的廢水簡單處理后排掉，不僅浪費水資源，而且本地水洗式氣體洗滌塔產生的廢水還會腐蝕管道。
綜上所述，如何有效地減少水資源的浪費，是目前本領域技術人員急需解決的問題。
技術實現要素：
有鑒于此，本實用新型的第一個目的在于提供一種廢水回收處理系統，該廢水回收處理系統的結構設計可以有效地減少水資源的浪費，本實用新型的第二個目的是提供一種包括上述廢水回收處理系統的本地水洗式氣體洗滌塔。
為了達到上述第一個目的，本實用新型提供如下技術方案：
一種廢水回收處理系統，包括：
多介質過濾器，所述多介質過濾器具有進水口和出水口；
活性炭過濾器，所述活性炭過濾器的進水口與所述多介質過濾器的出水口連通；
離子交換器，從所述活性炭過濾器排出的水進入所述離子交換器。
優選地，上述廢水回收處理系統中，所述離子交換器為陽離子交換器或陰離子交換器。
優選地，上述廢水回收處理系統中，所述離子交換器包括陽離子交換器和陰離子交換器，且所述陽離子交換器的出水口與陰離子交換器的進水口連通。
優選地，上述廢水回收處理系統中，還包括串接在所述活性炭過濾器和離子交換器之間的中繼水池，所述活性炭過濾器的出水口與所述中繼水池的進水口連通，所述中繼水池的出水口與所述離子交換器的進水口連通。
優選地，上述廢水回收處理系統中，還包括第一反洗管路，所述第一反洗管路的進水口與所述中繼水池的反洗出水口連通，所述第一反洗管路的出水口與所述多介質過濾器的反洗進水口和/或活性炭過濾器的反洗進水口連通。
聲明：
“本地水洗式氣體洗滌塔及其廢水回收處理系統的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：高頻美特利環境科技(北京)有限公司
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2025年07月24日 ~ 26日 
