本申請公開一種用于反應腔中加熱管的散熱裝置及反應腔室,所公開的散熱裝置(100)中,散熱本體(110)用于與加熱管(200)的基座(210)可拆卸連接,且導熱相連,散熱本體(110)內設有流體通道,流體流入部(120)和流體流出部(130)均與流體通道連通,調節閥(140)設置于流體流入部(120)上,溫度測量器(160)設置于散熱本體(110)與基座(210)的固定連接處,用于測量基座(210)的溫度,且溫度測量器(160)與溫控器(150)的輸入端電連接,調節閥(140)與溫控器(150)的輸出端電連接。上述方案能夠解決因燈座溫度過高而導致石英管與燈座之間的石膏密封較容易失效的問題。
聲明:
“用于反應腔中加熱管的散熱裝置及反應腔室” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)