本發明提供一種微機電系統(MEMS:Micro?Electro?mechanical System)電容式加速度傳感器電?機械沖擊下的試驗方法。它主要針對MEMS電容式加速度傳感器的電?機械沖擊試驗的使用需求,提出其目的、試驗要求、程序、失效判據,屬于試驗方法領域。該發明的優點是:1)能獲得MEMS電容式加速度傳感器在工作狀態下的機械沖擊可靠性信息,滿足MEMS電容式加速度傳感器在工程應用中的需求;2)形成覆蓋MEMS電容式加速度傳感器在電?機械沖擊狀態下的試驗方法,獲得在電?機械沖擊條件下MEMS電容式加速度傳感器的失效判據。能支撐MEMS電容式加速度傳感器電?機械沖擊應力下的鑒定檢驗工作。
聲明:
“MEMS電容式加速度傳感器電-機械沖擊下的試驗方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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