微電子器件可靠性快速評價方法,屬于微電子技 術領域。本發明的步驟為:1)先測量出微電子器件焦耳熱溫升; 2)測量該微電子器件的失效敏感參數P在選定溫度范圍內分別 在不加和加電應力條件下隨溫度Tj變化的數據,并分別繪制曲線且擬合成直線;3)取3組微電子器件,在三種不同電應力的條件下,進行溫度斜坡試驗,得到每組微電子器件的平均失效激活能、平均失效時間、平均失效溫度范圍;4)計算出公式: 中的系數A、m、n;5)計算失效敏感參數P所承受的電熱應力的能量;6)計算微電子器件在V、j和Tj分別為正常工作條件下的數值時的壽命τ。本發明可使試驗周期縮短、所需試驗樣品少,大大降低了成本,同時能夠給出單樣品的壽命。
聲明:
“微電子器件可靠性快速評價方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)