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            微光顯微鏡偏置裝置

            1089   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 09:01:09
            本發明一種微光顯微鏡偏置裝置,包括外部電源、上位機、處理器、雙通道測試工位、多陣列撥碼開關、系統接口和驅動模塊;外部電源對被測器件、測試模塊和驅動模塊供電;上位機發送控制信號給處理器,處理器對控制信號進行處理得到電壓信號,之后通過系統接口發送給驅動模塊,驅動模塊同時對雙通道測試工位及多陣列撥碼開關進行選通及控制,每個通道均通過撥碼開關提供多種偏置電壓及測試模式,用于微光顯微鏡中集成電路缺陷的定位和失效的檢查。本發明能夠對微光顯微鏡中的器件提供特定的偏置條件,運行真值表測試文件和按照測試向量對器件進行功能測試,并且能夠進行單步執行、固定偏置綁定以及測試程序循環等模式的偏置和測試。
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