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            > 機械手及其獲取傳輸晶圓的方法

            機械手及其獲取傳輸晶圓的方法

            951   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 09:01:07
            本發明涉及半導體設備領域,公開了一種機械手及其獲取傳輸晶圓的方法,晶圓在運輸通道內進行運輸時,通過水平導軌與第一紅外發射端等設置,將晶圓片推至既定位置處,便于后續機械爪直接取出晶圓片,從而避免晶圓在運輸通道內傳輸時對其實時檢測相對位置,同時,避免通過調整機械爪的位置以適應不同偏移程度的晶圓進行抓取,費時費力且降低運輸效率,機械爪轉運晶圓過程中,若夾緊組件失效,導致晶圓發生位置偏移,通過第二紅外發射端等設置,在機械爪運轉晶圓的過程中,實時對晶圓的相對位置進行檢測并實時調整,避免在發生意外偏移后停止機械爪的操作,耽誤時間降低機械爪的運轉利率。
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