本發明公開了一種鋇基復合鈣鈦礦結構微波介質陶瓷Ba3Zn(Nb2?xMox)O9+x/2(x﹦0.006~0.009),材料介質體系組成簡單,采用非化學計量比,內部含有微量的晶格缺陷,有助于燒結過程中的元素擴散與重排;煅燒過程采用煅燒+球磨+煅燒的預燒工藝,使得物相的合成更加完全,沒有雜相;燒結溫度為1400?1450℃,燒結與退火過程采用同種組分埋燒并加蓋燒,既防止了元素的揮發,又可避免不同組分埋燒帶來的雜質元素的引入,保證了燒結過程體系化學組分的一致;采用后退火工藝進一步改善了體系內的元素有序分布狀況,提高了體系的微波介電性能。本發明能夠滿足新興的5G通訊網絡28GHz的Ka波段通信需求,介電常數為36~39,品質因數(Qf)為90, 000~110,000GHz,諧振頻率溫度系數為?22~24ppm/℃。
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