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第六屆中國浮選大會
第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
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第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
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2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
第二屆有色金屬工業環境保護與減污降碳技術大會
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?長沙微譜科技有限公司 | 受邀參加第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會2023-06-16

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2025鉛鋅產業市場研討會
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
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2025有色金屬智能工廠大會

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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
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高熵能源材料
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柵氧化層漏電點的定位方法

1220 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 09:00:38

本發明涉及半導體失效分析技術領域，尤其涉及一種柵氧化層漏電點的定位方法，應用于一包括柵氧化層的半導體結構，所述柵氧化層上方沉積有多晶硅柵、硅化物層和金屬互連層，且所述柵氧化層中包括一個或多個漏電點，所述定位方法包括：步驟S1，對所述半導體結構進行漏電點粗定位，以在所述柵氧化層上方定位出包括所述失效點的熱點區域；步驟S2，去除所述金屬互連層和所述硅化物層，以暴露所述多晶硅柵；步驟S3，對應所述熱點區域在所述多晶硅柵上方形成金屬層區域；步驟S4，采用電壓對比工藝對所述多晶硅柵上方的所述金屬層區域進行測試，正對所述漏電點的所述金屬層區域在所述電壓對比工藝下呈現高于其他區域的亮度，從而定位出所述漏電點。

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聲明：

“柵氧化層漏電點的定位方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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失效分析

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:140

2 取、制樣安全淺析

下載:132

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:97

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:96

7 用于X熒光分析的樣品前處理及其

下載:93

8 礦產品人工取樣方案的制定及案例

下載:93

9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿

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10 制樣室裝修設計技巧

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