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            微光顯微鏡裝置

            833   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 09:00:37
            本實用新型提供一種微光顯微鏡裝置,其特征在于,包括:微光顯微鏡、光路裝置、光探測裝置及探針,其中,所述光路裝置包括呈預設夾角的第一光反射面以及第二光反射面,待測樣品設置于所述第一光反射面的上方,所述光探測裝置設置于所述第二光反射面的上方,所述待測樣品的激發光從待測樣品的背面發出,并經由所述第一光反射面以及第二光反射面反射后,入射至所述光探測裝置內。本實用新型在待測樣品不需要做任何調整的情況下,同時兼備正面EMMI分析功能和背面EMMI分析功能,操作方便,適用性廣,有效降低了芯片失效分析成本并提高分析效率。而且,本實用新型都是從正面下探針,進一步提高了操作的便利性和工作效率。
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            “微光顯微鏡裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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