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2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
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第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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?2023中國礦物加工大會（CMPC）在北京隆重召開！2023-04-27
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第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
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2025綠色低碳冶金技術創新大會
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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
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2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
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檢測行業
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
2023有色金屬分析檢測高質量發展論壇暨儀器儀表、實驗室設備展示會

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?創想儀器 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?長沙微譜科技有限公司 | 受邀參加第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會2023-06-16

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2025鉛鋅產業市場研討會
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
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2025有色金屬智能工廠大會

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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
有機助磨劑強化低品位菱鎂礦分選行為及機理研究
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推動行業革命的新型碳纖維復合材料泵
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
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高熵能源材料
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?廢動力電池安全帶電破碎關鍵技術及裝備下載：102
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> 可用于高溫環境下壁面剪應力測量的底層隔板微傳感器及其制造方法

可用于高溫環境下壁面剪應力測量的底層隔板微傳感器及其制造方法

1149 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 09:00:33

本發明公開了一種可用于高溫環境下壁面剪應力測量的底層隔板微傳感器及其制造方法，屬于傳感器技術領域。該微傳感器主要包括凸出隔板2、懸臂梁3、梁根部4、U型環凹槽5、力敏電阻6、基體7、導線8和焊盤9；該底層隔板微傳感器的制備材料為器件層厚度小于1微米的SOI硅片，微傳感器的敏感電阻制備在絕緣層上，保持相互獨立且僅通過耐高溫金屬薄膜連接，能夠有效降低由于高溫引起的敏感電阻及金屬引線失效問題，實現類似于發動機進氣道、燃燒室等的冷流高溫環境下的壁面剪應力測量；且傳感器量程不受制于SOI硅片器件層厚度；工藝簡化、難度低；懸臂敏感梁正向和反向撓曲時傳感器輸出一致性強；結構魯棒性強。

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聲明：

“可用于高溫環境下壁面剪應力測量的底層隔板微傳感器及其制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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失效分析

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1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:139

2 取、制樣安全淺析

下載:131

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

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6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

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7 礦產品人工取樣方案的制定及案例

下載:93

8 用于X熒光分析的樣品前處理及其

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