本發明公開了一種智能真空器件在線檢測方法及其裝置,包括設于真空密封腔體上并且一端與真空密封腔體內部連通的連接管,以及與連接管另一端連通的波紋管,波紋管遠離連接管的另一端上固定一光感應裝置,另設有光發射裝置和光接收裝置,光發射裝置發射光信號連續監測該光感應裝置的位置并將其傳輸給光接收裝置,光接收裝置將接收的光信號通過光纜傳輸給中央處理器。該智能真空器件在線監測裝置持續監控真空器件的真空度變化,在產品失效前及時發出警告,提醒工作人員采取措施,避免事故發生。不僅減免了對真空器件的脫機檢驗,降低了運營和維護成本;而且增加了產品的可靠性,減少了對人員和資產傷害的風險;并可實現遠程監控,利用智能化發展。
聲明:
“智能真空器件在線監測方法及其裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)