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            測試結構

            912   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 09:00:14
            本申請實施例提供了一種測試結構,可以包括第一金屬線、第二金屬線,以及第一金屬線和第二金屬線之間的介質層,第一金屬線用于連接第一電壓,第二金屬線用于連接第二電壓,其中,第一金屬線通過連接入一個電編程熔絲來連接第一電壓,和/或,第二金屬線通過連接入一個電編程熔絲來連接第二電壓。第一電編程熔絲和第二電編程熔絲在正常工作時電阻較小,但是在介質層擊穿之后整個電路回路中產生較大的電流,此時第一金屬接入的電編程熔絲和/或第二金屬接入的電編程熔絲的電阻驟然變大,此時的電編程熔絲由于大電阻起到分壓/降電流作用,抑制了電介質擊穿處的電流而減弱擊穿損傷,利于后期對擊穿位置的物理失效分析。
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            聲明:
            “測試結構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
            我是此專利(論文)的發明人(作者)
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            失效分析
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