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            > 用于高頻率微尺度聲表面波器件測試的裝置

            用于高頻率微尺度聲表面波器件測試的裝置

            1173   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 09:00:12
            本實用新型公開了一種用于高頻率微尺度聲表面波器件測試的裝置,包括真空手套箱、微型手動探針測試臺和矢量網絡分析儀,所述真空手套箱包括真空手套箱箱體和機械泵,所述微型手動探針測試臺包括載臺機構、探針機構和顯微鏡機構,所述載臺機構包括工作臺、載物臺和卡盤,兩個探針分別為輸入探針和輸出探針,所述矢量網絡分析儀的輸出測試端口通過輸出導線與所述輸出探針連接,所述矢量網絡分析儀的輸入測試端口通過輸入導線與所述輸入探針連接。本實用新型結構簡單,設計合理,成本低,增強了高頻率微尺度聲表面波器件測試的可靠性,確保高頻率微尺度聲表面波器件失效測試準確性,實用性強。
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