本申請涉及一種GaN器件的可靠性測試方法、裝置和系統??煽啃詼y試方法通過獲取GaN器件的瞬時電流曲線;其中,瞬時電流曲線為GaN器件經施加脈沖信號得到;脈沖信號為脈沖寬度小于或等于1微秒的信號?;谒矔r電流曲線進行分析,得到GaN器件的可靠性分析結果。脈沖寬度小的脈沖信號可向GaN器件施加短脈沖電應力,GaN器件的柵極區域可以施加較大的瞬態累加電壓應力;同時,實時監測、分析每個短脈沖電應力后GaN器件的電流波形,可獲取器件退化、失效的動態全過程行為。本申請實施例的測試方法簡單、易操作,在短脈沖的條件下,可施加比傳統測試方法更高的電壓強度,能夠分析器件的可靠性,比對不同器件結構參數之間的優劣性。
聲明:
“GaN器件的可靠性測試方法、裝置和系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)