本申請公開了一種骨傳導檢測裝置、骨傳導器件及制作方法。所述骨傳導檢測裝置包括支撐件、第一基板、第二基板以及可動組件;支撐件上設置有支撐孔,并且支撐件具有相對的第一側與第二側,第一側與第一基板固定連接,第二側與第二基板固定連接,支撐件、第一基板以及第二基板共同形成腔體;可動組件包括通過懸掛結構懸掛在支撐孔內的質量塊;第二基板上設置有固定電極,固定電極與質量塊形成針對目標方向加速度的檢測電容;其中,目標方向與第一基板的厚度方向相平行,質量塊在檢測到目標方向加速度時沿平行于目標方向運動,并且懸掛結構限制質量塊在非目標方向上的運動。本申請所公開的技術方案解決了現有的骨傳導麥克風的靈敏度差且失效的問題。
聲明:
“骨傳導檢測裝置、骨傳導器件及制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)